高溫試驗(yàn)箱的主要技術(shù)特點(diǎn)
2022-07-06 13:36 林頻儀器
高溫試驗(yàn)箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、銀酸鋰,、玻璃等材料的預(yù)處理烘烤,，涂膠后的膠膜烘烤和高溫烘烤,；也適用于電子液晶顯示實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)科研部門,，也可用于其他高溫試驗(yàn)，如干燥,、熱處理,、老化等,。
高溫試驗(yàn)箱的主要技術(shù)特點(diǎn)是什么？
1,、溫度范圍：（環(huán)境溫度+20）℃～200℃（可按客戶要求辦理）,；
2、加熱時(shí)間：環(huán)境溫度→+200℃≤35min,；
3,、氮?dú)鈱?dǎo)入：冷卻過程中打開兩個(gè)閥門，保持正壓狀態(tài),。每個(gè)分支配有一個(gè)控制電磁閥和一個(gè)調(diào)節(jié)流量計(jì),，在加熱(排氧)過程中打開兩個(gè)閥門，確保氧氣能夠完全排出,；
4,、冷卻時(shí)間：2000℃～80℃時(shí)，約50分鐘,；
5,、通信功能：S-具有本地和遠(yuǎn)程通信功能的485接口（需要配備集中監(jiān)控軟件），需要占用PC機(jī)的COM口和USB可同時(shí)連接16臺(tái)設(shè)備,，累計(jì)電纜長度最大800m,。
安裝現(xiàn)場要求：
1、設(shè)備周圍沒有強(qiáng)振動(dòng),；
2,、沒有強(qiáng)電磁場；
3,、沒有易燃,、腐蝕性物質(zhì)和粉塵；
4,、高溫試驗(yàn)箱設(shè)備周圍有適當(dāng)?shù)氖褂煤途S護(hù)空間：A：不小于60cm,；B：不小于120cm；C：不小于60cm,；D：不小于120cm,。